Spin-Coater für Beschichtung gekrümmter Substrate

Gegenstand der Beschaffung ist ein Spin-Coater-Gesamtsystem, bestehend aus einem Stand-Alone-Spin-Coater-Modul, einem Dispensiersystem und einem integrierten, turbulenzverringernden Lösungsmittelatmosphären-Verfahren. Das Spin-Coater-Gesamtsystem muss als komplettes und funktionsfähiges System installiert und übergeben werden. Die Betriebstemperatur soll zwischen 20°C und 23°C liegen, mit einer zulässigen Variation von ± 1°C. Die Anlage soll eine zulässige Luftfeuchtigkeit von bis zu 55% vertragen und frontal bedienbar sein. Eine Software mit grafischer Benutzeroberfläche zur Bedienung und Überwachung der Anlage und Prozesse, inklusive Benutzerrezepten, Datenbankfunktion und Touchscreen-Steuerung, ist erforderlich. Das Stand-Alone-Spin-Coater-Modul muss für den Einsatz im Reinraum der Klasse ISO 6 oder besser geeignet sein. Die Gesamtgröße des Moduls darf bestimmte Maße nicht überschreiten und es muss für Wafer bis zu einer Größe von 8 Zoll (rund) bzw. 6 Zoll (quadratisch) geeignet sein. Gehäuse und Innenbereiche müssen aus lösungsmittelresistentem Material gefertigt und leicht zu reinigen sein. Ein bürstenloser Servomotor soll Drehgeschwindigkeiten bis mindestens 4.000 U/min ermöglichen, mit einer Genauigkeit von +/- 4 U/min und einer Einstellbarkeit in 2 U/min-Schritten oder genauer. Eine maximale Drehbeschleunigung von mindestens 4000 U/(min·s) und eine Schleuderzeit, die in Intervallen von kleiner oder gleich 0,1 s einstellbar ist, sind gefordert. Ein pneumatisch angetriebenes System zum einfachen und sicheren Be- und Entladen der Wafer, eine Zentriervorrichtung für Wafer bis zu 6 Zoll mit einer Zentriergenauigkeit von +/- 0,5 mm, sowie ein Vollkontakt Vakuum Chuck für 2 Zoll und 4 Zoll große Wafer sind ebenfalls Bestandteil der Lieferung. Das Dispensiersystem soll programmierbar, vollautomatisch und elektrisch sein, mit mindestens 3 integrierbaren Einzelkanälen für unterschiedliche Materialien. Alle Kanäle müssen zentral über ein Konfigurationstool steuerbar sein, und die automatisierte Bewegung des Dispensiersystems muss eine Positioniergenauigkeit von ≤ 1 mm gewährleisten. Ein Kanal soll für den Auftrag von Lösungsmitteln in größeren Mengen geeignet sein, ein zweiter für hochviskose Materialien (z.B. Fotoresist) mit detaillierten Dosierangaben und einfachem Materialwechsel, und ein dritter für die Randentlackung (EBR). Das integrierte, turbulenzverringernde Lösungsmittelatmosphären-Verfahren muss in die Systemsteuerung integriert sein und die entsprechenden Zubehör-Bauteile umfassen. Eine elektrisch angetriebene Achse mit Montageplatte und Nabe zur Integration von Chuck und weiterem Zubehör, sowie ein Aufsatz zum Schließen der Belackungskammer, der auf dem Chuck aufliegt und diese vollflächig umschließt, sind erforderlich. Zusätzlich sind sicherheitsrelevante Bestandteile wie eine Sicherheitshaube, eine transparente Fronttür mit Türverriegelung, ein integrierter Gasmonitor zur Überwachung von Lösungsmitteldämpfen und eine integrierte Sammelmöglichkeit für Abfallmaterialien erforderlich. Die CE-Konformität, eine Betriebsanleitung in deutscher oder englischer Sprache, Komponentendokumentation der Ersatzteile, sowie die Inbetriebnahme am Aufstellort mit ausführlichem Funktionstest sind ebenfalls gefordert. Die wartungsfreien Intervalle der Anlage sollen mindestens sechs Monate betragen und die Lautstärke während des Schleuderbetriebes geringer als 70 dB sein.